低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。

低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在很短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

 低温等离子废气净化器是一种新型的干法处理有机废气、臭气的净化设备，它改变了使用活性炭填料的工艺技术，无需再生处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，及维护保养方便。

低温等离子设备组合性强：可以串并联混合应用。