催化燃烧废气处理设备的催化氧化是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。

在催化氧化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰氧化，并氧化分解为CO2和H20，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的有害物的方法。