低温等离子光氧一体机废气净化器，等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。

在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。

反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。

通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。