光氧等离子一体机采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5ev的大量电子作用下，通过净化器的苯、甲苯。二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与杂气中02的结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得以净化。

低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降 解污染物的目的。